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简单介绍:
全新发布的日立新型场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)全新品牌 "Regulus®系列",机型包括作为SU8010的后续机型开发的 "Regulus8100" 以及SU8200系列的升级版"Regulus8220" "Regulus8230" "Regulus8240",共4个机型,均实现了分辨率和操作性的强化。"Regulus系列" 电子光学系统进行了*优化处理,使得着陆电压在1kV时分辨率较前代机型提高了约20%。"Regulus8220/8230/8240"达到0.9nm,"Regulus8100"为1.1 nm的分辨率。另外,*适合低加速电压下高分辨观察的冷场电子枪可将样品的细节放大,并获得高质量的图片。*大放大倍率也由之前的100万倍提高到了200万倍。除此之外,为了能更好的应对不同样品的测试和保持并发挥出高性能,还对用户辅助工能进行了强化,如信号检测系统的操作辅助功能,维护辅助
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主要特点